Mit der REM/EDX-Analyse als kombiniertes Verfahren zur elektronenoptischen Zählung und Vermessung der Partikel im Rasterelektronenmikroskop (REM) und der Elementanalyse mittels energieaufgelöster Röntgenspektroskopie (EDX) können zusätzliche Informationen über das Schädigungspotential oder die Herkunft von anorganischen Partikeln gewonnen werden. Die Elementanalyse liefert als wesentliche Information die EDX-Spektren, aus denen die chemischen Elemente oder Legierungszusammensetzung der Partikel hervorgehen. Das Ergebnis wird in Größenklassen nach Material- und Härteklassen typisiert ausgegeben. CleanControlling bietet verschiedene Methoden der REM/EDX-Analyse zur zielorientierten und wirtschaftlichen Lösung der kundenseitigen Fragestellungen an: 

• REM/EDX-Analyse einzelner, grenzwertüberschreitender Partikel, wenn eine eindeutige Zuordnung nach der lichtoptischen Analyse in metallisch glänzend / nicht-glänzend nicht möglich ist
• REM/EDX-Scan des Analysefilters zur Zählung, Vermessung und Material-Klassifizierung, wenn einzelne Partikelmaterialien reglementiert werden, wie z.B. abrasive oder keramische Partikel, die mit der lichtoptischen Analyse nicht identifiziert werden können. Als wirtschaftliche Methode bietet sich der Scan über einen definierten Zeitraum von 1 - 2 h an, das Ergebnis wird dann auf die volle Filterfläche hochgerechnet. Die wirtschaftliche Durchführung eines vollständigen Scans des Analysefilters hängt von der Filterbelegung und damit von der Partikelverunreinigung des Bauteils ab.
• Die korrelative REM/EDX-Analyse in Kombination mit der lichtoptischen Analyse ermöglicht die gezielte Elementanalyse, der mit der mikroskopischen Analyse identifizierten relevanten Partikel. Die Partikelkoordinaten werden direkt an das REM/EDX-System übergeben und können damit wirtschaftlich und schnell analysiert werden.