Die Bestimmung des Gesamtgehalts an Kohlenwasserstoffverbindungen (THC) erfolgt mittels Gaschromatographie (GC) gekoppelt mit Massenspektrometrie (MS). Dabei werden die Verbindungen der Verunreinigungen anhand ihrer chemischen Eigenschaften aufgetrennt, die einzelnen „Molekülpakete“ ionisiert und anhand ihres spezifischen Masse-zu-Ladung-Verhältnisses detektiert. Eine vorangegangene Kalibrierung mit einem Kohlenwasserstoffgemisch bekannter Konzentration ermöglicht eine präzise Semiquantifizierung der zu bestimmenden Substanzen. Da das Masse-zu-Ladung-Verhältnisses ein ausgezeichnetes Charakteristikum für die chemisches Zusammensetzung darstellt, eignet sich die GC/MS-Methode mit Hilfe eines Abgleichs mit Referenzsubstanzen oder einer Datenbank hervorragend zur Charakterisierung der zugrundeliegenden Substanzen. Dies erleichtert insbesondere die Ursachenforschung für chemische Kontaminationen. 

Vor der GC/MS-Analyse erfolgt zunächst eine Extraktion der filmischen Rückstände mit einem flüchtigen, organischen Lösungsmittel. Hierfür kann eine Reihe von Lösungsmitteln verwendet werden, die sich in ihrer Solvatationsfähigkeit stark voneinander unterscheiden können. Häufig eingesetzt werden: Kurzkettige Alkane C5-C7 (Pentan, Hexan, Heptan), Ether (Diethylether, tert-Butylmethylether, Tetrahydrofuran = THF), Ketone (Aceton, Methylethylketon = MEK), Ester (Ethylacetat, Butylacetat), Dichlormethan, Alkohole C1-C3 (Methanol, Ethanol, iso-Propanol). Die Auswahl sollte dabei stets unter Aspekten der Arbeitssicherheit und Materialverträglichkeit erfolgen.