Analysefiltration zur Bestimmung der Bauteilsauberkeit

Analyseverfahren zur quantitativen Beschreibung der Bauteilsauberkeit:

 

  • In der Mehrzahl der Anwendungen müssen die Partikel zunächst mit Flüssigkeit gezielt vom Bauteil abgelöst werden, um sie messtechnisch erfassen zu können. Dies geschieht entweder in einem Spülkabinett, in dem Reinraumatmosphäre herrscht oder im Ultraschallbad.
  • Die Partikel ( Restschmutz) werden auf einem Analysefilter gesammelt und - je nach Erfordernis - mittels Gravimetrie, Mikroskopie oder Elementanalyse charakterisiert.
  • Bei den filterbasierten Verfahren wird die Filtration formal der Analyse zugeordnet, da insbesondere das Partikelrückhaltevermögen des Analysefilters die Grenzen für den Nachweis und somit das Analyseergebnis mit bestimmt.
  • Das Messergebnis ist in hohem Maße von der Ausführung der Extraktionsprozedur abhängig. Des Weiteren bestimmen Kalibrierung und Fähigkeiten der eingesetzten Messmittel das Ergebnis der zu ermittelnden Sauberkeitswerte.
  • Das Prüfpersonal muss die Vorgehensweisen und Randbedingungen zur Analyse gewissenhaft ausführen. Es ist darauf zu achten, dass die Analyseflüssigkeit und -filter nicht zusätzlich verunreinigt werden und andererseits keine Partikel verloren gehen.
  • Der Analyseraum spielt im Hinblick auf das Messergebnis ebenfalls eine große Rolle. Deshalb wurde von CleanControlling ein totraumoptimiertes Spülkabinett entwickelt, das genaueste Analysen ermöglicht.

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Partikelsaug-extraktionssystem
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